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RFID技术在半导体上的电子货架应用方案

09/13 15:48
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某半导体电子货架现场:

(1)每个晶圆盒的全生命周期数据(如蚀刻周期、清洗次数)需要通过RFID标签实时记录。

(2)当FOUP被错误放置(如CMP后晶圆进入沉积区),系统立即触发声光报警,并锁定货架操作权限。

晨控提供的解决方案:

(1)半导体RFID读写器安装在电子货架上,通过无线射频识别技术,实时读取FOUP晶圆载具的标签信息,精确记录其存放拿取时间、存放位置、批次数据,实现自动化追踪与管理,有效提升信息检索效率和降低污染风险,确保晶圆生产与管理的高效与安全。

(2)在晶圆盒上安装RFID标签,记录生产过程和检测结果。一旦出现质量问题,可快速追溯到具体批次和生产环节,为质量改进提供依据。通过RFID系统半导体企业能够建立完整的晶圆质量追溯体系,从原材料采购、生产加工到成品出厂,每一个环节的信息都被准确记录在标签中。当出现质量问题时,企业可以迅速定位问题源头,采取相应的措施进行整改,有效降低质量风险,提高产品质量和客户满意度。

(3)当FOUP放置在货架上时,半导体RFID读写器立即捕获其RFID标签,更新系统位置和时间戳数据。占用槽位的LED指示灯增强视觉引导。每个晶圆批次的历史数据(如蚀刻周期、清洗次数)实现全生命周期追溯,对良率分析和质量控制至关重要。系统根据RFID收集的数据(如紧急批次标记)优先处理FOUP。如果FOUP被放置在错误区域(如CMP后晶圆进入沉积区域),系统触发不匹配警报。降低或消除人工扫描识别,减少人员流动所造成的颗粒物污染。

应用产品

晨控CK-S610系列产品特点:

l高集成度:集天线,放?器,控制器于?体的3合1型低频读写器。

l丰富的接口和协议:RS232、RS485,支持工业协议Modbus?RTU

l高防护等级:防护等级达到IP67,具有防水、防腐蚀、防干扰等特点,能够适应恶劣的工业生产环境。

l标准协议:读卡器工作频率 134.2kHz,HDX 工作模式,支持ISO11784/85射频标准标签。

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晨控智能自主研发生产的工业RFID读写器、电子标签的识别系统已日渐成熟。其中,在总线控制方面,可支持ModbusRTU、ModbusTCP、EtherNet/IP、CANopen、PROFINET、EtherCAT等多种工业网络标准,满足终端设备客户使用不同的通讯协议。截至2022年,晨控智能为将近10000+客户提供产品和服务,和东风日产、上汽、广汽、一汽大众、三一重工、立讯精密、良品铺子等多家制造业龙头长期密切合作。未来,晨控智能将继续在工业物联网领域探索,与合作伙伴共同创造价值。