高频探针台

sumi-400955

高频探针台的应用
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一、基本配置信息
1.探针台本体
* 4”、6“、8“真空吸附卡盘
* 滚珠螺杆驱动卡盘装置
* X,Y 行程：150mm(可根据需求选择其它范围)
* 手动卡盘360度调整
* 显微镜X,Y,Z平台移动行程25mm(可根据需求选择其它范围)
* 卡盘平坦度：10um
2.RF 探针座Probe Head
* RF/Active Probing (PicoProbe)
* 外型尺寸：110 x 125mm
* X,Y行程：25mm
* Z行程：16mm
* 精度：3um
* 仰角调节装置
* 吸附方式：磁开关吸附（真空吸附可选）
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3.高倍率显微镜系统(可选其它倍率光学显微镜)
* 放大倍率 1X-500X
注：可选更高倍率物镜，如：100X物镜，即总倍率1000X
* 光源光纤传导：1.5m
* 卤素灯光源：100W或更高
* CCD C-mount国际标准接口
* 目镜：WF10X/24，视场直径 24mm，独立矫正色差
* 物镜：10X , 20X, 50X，100X
* 双目头：瞳距调节范围55~75mm
* 上主体：分光比为50:50或0:100
* 管镜：1X NUV/VIS
* 齐焦距离: 95mm;
* 调焦机构：调焦行程: 52mm
* 粗动手轮4mm/转
* 微动手轮0.1mm/转
* 微动手轮 1μm/格
* 最大承载重量: 45磅(20.4Kg)