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本帖最后由 暗月 于 2016-11-30 21:51 编辑
芬兰VTT国家技术研究中心（VTT Technical Research Centre of Finland）研究人员在Iphone相机光学系统中整合电容可调的微光学机电系统（MOEMS）结构，打造出据称是首款全整合的超光谱成像智能手机。
电容可调的MEMS Fabry-Perot干涉仪，采用TiO2-Al2O3 λ/4薄膜Bragg反射镜制成
这种MOEMS结构是一种可调谐的MEMS Fabry-Perot干涉仪，由原子层沉积的TiO2-Al2O3 λ/4薄膜Bragg反射镜制成。将金属电极整合到反射镜薄膜，使其达到可由电容调谐气隙高度，从而改变带通波长。
研究人员Iphone 5S超光谱成像仪（HSI）演示约500nm可见光范围内的单个MEMS FPI可调谐滤波器（具有450～550nm的调节范围），在SPIE论文(MEMS FPI-based smartphone hyperspectral imager)中,他们还展示了使用串联FPI达到更大的波长范围。
他们展示了集中于500～650nm范围的两个叠层FPI装置，以公章调谐波长到400～700nm，虽然他们并未在iphone中整合此叠层装置，但这种MOEMS滤波器的机械厚度易于与智能手机整合，并提供OEM授权的VTT技术。
这项展示在可见光范围内进行，但VTT研究人员的的目标在约700～1000nm的可见光近红外线内开发类似的MEMS超光谱成像系统。在此波长范围下有助于识别更多的光谱指纹，从而实现防伪、认证以及潜在的健康、食品等的传感器应用。
使用修改的iphone 5s搭配超光谱应用检查20欧元真伪
相比与分离式元件组成的昂贵压电式FPI，这款单片MEMS FPI可以以低成本实现量产，及与相机光学元件整合。此外，轻量级表明微加工的MOEMS能承受18000G的冲击而且不受振动效应影响，使其也能应用于汽车、无人机上。
可调谐滤波器 FPI，轻薄、坚固耐用
（出处：MEMS optical filters give Iphone's camera hyperspectral powers http://www.electronics-eetimes.com/news/mems-optical-filters-give-iphones-camera-hyperspectral-powers）
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2016-11-30
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