EFEM 晶圆传输系统有什么优势

EFEM 晶圆传输系统是汉诺核心产品之一，依托公司在直线电机领域的技术积累，具备高精密传输能力。汉诺的直线电机技术可实现微米、亚微米级运动控制，为 EFEM 晶圆传输系统提供了稳定的动力支撑，确保晶圆在传输过程中位置精准，避免因位移偏差影响后续加工。

汉诺的 EFEM 晶圆传输系统与公司其他产品如直线电机、压电平台等形成技术协同。压电平台可控制在正负 3nm 左右的精度，这种纳米级控制能力被融入 EFEM 晶圆传输系统的细节设计中，让晶圆在传输时的微小调整更精准，满足半导体行业对超高精度的要求。

在行业应用中，汉诺的 EFEM 晶圆传输系统深入参与半导体产业链，与多家高精密自动化设备厂家深度合作。其适配的设备包括晶圆检测设备、光刻设备、薄膜沉积设备等，在这些设备中，EFEM 晶圆传输系统能够高效衔接各工序，提升整体生产效率。

凭借这些优势，汉诺的 EFEM 晶圆传输系统赢得了半导体行业客户的认可，公司 80% 的业绩来源于老客户返单和转介绍，这也从侧面印证了该系统在实际应用中的可靠表现。作为直线电机源头生产厂家，汉诺持续深耕技术，让 EFEM 晶圆传输系统在高精密自动化领域发挥着重要作用。

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