半导体电子束光刻、量检测设备供应商汇总（2025）

电子束（EB）的波长远小于光线，所以将其应用在光刻、量检测领域相较于传统光学方法能够明显提升分辨率。但是由于其速度缓慢、生产效率低下，导致其在半导体量产环节的应用受限但是随着晶体管密度增加、半导体图形线宽越来越小，电子束工具的应用在未来会越来越多然而由于其技术门槛高且市场空间相对较小，目前这个领域的供应商也相对不多。国内的厂商数量更是稀少最近，很多一级市场的投资人也开始对这个领域感兴趣了。和他们交流以后，我决定专门做一版供应商数据，

供大家参考麻烦大家在参考的同时，也帮忙确认一下。如果发现任何问题，请随时和我私信联系。谢谢您的支持了

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